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半导体温控机Chiller 芯片循环制冷机

简要描述:【无锡冠亚】半导体控温解决方案主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备,⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。半导体温控机Chiller 芯片循环制冷机

  • 产品型号:LTS-202
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-11
  • 访  问  量:846
详情介绍
品牌 新利体育官网登录入口 冷却方式 水冷式
价格区间 10万-50万 产地类别 国产
仪器种类 一体式 应用领域 化工,生物产业,电子,制药,汽车



🥴新利体育官网入口(官方)网站 的半导体控温解决方案

主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备,

⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。




【 新利体育官网登录入口 】半导体行业主营控温产品:

半导体专温控设备

射流式⾼低温冲击测试机

半导体专用温控设备chiller

Chiller气体降温控温系统

Chiller直冷型

循环风控温装置

半导体⾼低温测试设备

电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源

射流式高低温冲击测试机

快速温变控温卡盘

数据中心液冷解决方案


型号 FLT-002 FLT-003 FLT-004 FLT-006 FLT-008 FLT-010 FLT-015
FLT-002W FLT-003W FLT-004W FLT-006W FLT-008W FLT-010W FLT-015W
温度范围 5℃~40℃
控温精度 ±0.1℃
流量控制   10~25L/min  5bar max 15~45L/min  6bar max 25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃ 6kw 8kw 10kw 15 kw 20kw 25kw 40kw
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R410A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI温度需要控制10℃以上)
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h
电源380V 3.5kW 4kW 5.5kW 7kW 9.5kW 12kW 16kW
温度扩展 通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃





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  在半导体制造过程中,新利体育官网登录入口 的冷却设备chiller的作用大家有目共睹。本文将介绍介质刻蚀双通道chiller调试过程中的注意事项。

  1、稳定运行:在调试过程中,始终要牢记安全的原则,避免可能导致安全事故的行为。

  2、记录数据:对调试过程中的所有数据进行记录,以便后续分析和故障排查。

  3、遵循规范:严格遵守介质刻蚀双通道chiller手册和相关规范进行调试,确保调试结果的准确性和可靠性。

  4、团队协作:在调试过程中,与团队成员保持良好的沟通,共同解决问题,提高调试效率。

总之,介质刻蚀双通道chiller的调试是一项复杂的工作。在调试过程中,需要注意细节,严格遵守规范,确保设备正常运行,为半导体制造提供稳定的冷却保障。

 



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