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顶层介质刻蚀(cathode)单通道chiller

简要描述:【无锡冠亚】半导体控温解决方案主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备,⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。顶层介质刻蚀(cathode)单通道chiller

  • 产品型号:LTS-202
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-11
  • 访  问  量:565
详情介绍
品牌 新利体育官网登录入口 冷却方式 水冷式
价格区间 10万-50万 产地类别 国产
仪器种类 一体式 应用领域 化工,生物产业,电子,制药,汽车



🥴新利体育官网入口(官方)网站 的半导体控温解决方案

主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备,

⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。




【 新利体育官网登录入口 】半导体行业主营控温产品:

半导体专温控设备

射流式⾼低温冲击测试机

半导体专用温控设备chiller

Chiller气体降温控温系统

Chiller直冷型

循环风控温装置

半导体⾼低温测试设备

电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源

射流式高低温冲击测试机

快速温变控温卡盘

数据中心液冷解决方案


型号 FLT-002 FLT-003 FLT-004 FLT-006 FLT-008 FLT-010 FLT-015
FLT-002W FLT-003W FLT-004W FLT-006W FLT-008W FLT-010W FLT-015W
温度范围 5℃~40℃
控温精度 ±0.1℃
流量控制   10~25L/min  5bar max 15~45L/min  6bar max 25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃ 6kw 8kw 10kw 15 kw 20kw 25kw 40kw
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R410A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI温度需要控制10℃以上)
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h
电源380V 3.5kW 4kW 5.5kW 7kW 9.5kW 12kW 16kW
温度扩展 通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃





顶层介质刻蚀(cathode)单通道chiller

顶层介质刻蚀(cathode)单通道chiller


  侧墙刻蚀单通道chiller其作用是保持半导体的冷却和温度稳定。为了确保其正常运行和延长使用寿命,以下是一些防止注意事项:

  1、保持设备清洁

  侧墙刻蚀单通道chiller内部零件精细,容易受到灰尘和杂质的影响。因此,使用过程中要注意保持设备清洁。定期清理冷凝器、散热器和管道中的杂质,避免堵塞和过热。同时,对于外部设备,如泵和压缩机等,也要保持清洁,避免灰尘和杂质的积累。

  2、正确使用和操作

  使用侧墙刻蚀单通道chiller时,要遵循操作规程。要确保使用的水质符合要求,避免水中的杂质和矿物质对设备造成损害。其次,要根据需要设定适当的温度和流量,避免设备过载或运行不稳定。此外,在设备运行过程中,要密切关注各项参数,如压力、温度和流量等,及时调整和维修。

  3、定期维护和保养

  为了确保侧墙刻蚀单通道chiller的正常运行和使用寿命,定期维护和保养是不可少的。这包括检查冷凝器、散热器和管道是否有堵塞或泄漏,检查泵和压缩机的运行状况,以及更换过滤器等易损件。此外,定期清洗设备内部和外部,确保设备清洁也是保养的重要内容。


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