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半导体晶圆快速冷却装置冷冻机髙压故障对策

简要描述:无锡冠亚生产单流体低温冷冻机,制冷温度范围从-150度到-5度,可满足不同制冷温度需求。产品广泛应用于化工、制药、生化等行业低温反应领域,制冷速度快,安全可靠。半导体晶圆快速冷却装置冷冻机髙压故障对策

  • 产品型号:LN-10W
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-07
  • 访  问  量:879
详情介绍
品牌 LNEYA/无锡冠亚 额定制冷量 6kWKW
外形尺寸 100*150*185m 重量 950kgkg
冷冻方式 水冷式 应用领域 化工,电子

低温冷冻机

 

型号 LN-6W LN-10W LN-15W LN-20W LN-30W LN-40W LN-60W LN-90W LN-120W
温度范围  -60°C~ -10°C
制冷量 
At -40°C
12kW 20kW 30kW 40kW 60kW 80kW 120kW 180kW 240kW
10320Kcal/h 17200Kcal/h 25800Kcal/h 34400Kcal/h 51600Kcal/h 68800Kcal/h 103200Kcal/h 154800Kcal/h 206400Kcal/h
制冷量 
At -55°C
6kW 10kW 15kW 20kW 30kW 40kW 60kW 90kW 120kW
5160Kcal/h 8600Kcal/h 12900Kcal/h 17200Kcal/h 25800Kcal/h 344000Kcal/h 51600Kcal/h 77400Kcal/h 103200Kcal/h
循环泵 6.6m³/h 9m³/h 15m³/h 15m³/h 25m³/h 25m³/h 25m³/h 35m³/h 35m³/h
2.5bar max 2.5bar max 2.5bar max 2.5bar max 2.5bar max 2.5bar max 2.5bar max 2.5bar max 2.5bar max
进出液尺寸 DN-25
PN-10
DN-32
PN-10
DN-40
PN-10
DN-40
PN-10
DN-50
PN-10
DN-50
PN-10
DN-50
PN-10
DN-65
PN-10
DN-65
PN-10
冷却水 30度 10m³/h
DN40
14m³/h
DN50
20m³/h
DN65
25m³/h
DN65
30m³/h
DN80
35m³/h
DN80
50m³/h
DN100
70m³/h
DN125
90m³/h
DN125
蓄冷罐(选配) 200L 350L 500L 750L 1000L 1200L 1500L 2200L 3000L
膨胀罐(标配) 100L 175L 250L 350L 500L 600L 750L 1000L 1350L
压缩机 艾默生 卡莱尔、汉钟、复盛、比泽尔螺杆压缩机
操作面板 7寸彩色触摸屏显示输入、 温度曲线记录
控制系统 西门子S7系列PLC及模块,位式 设定开启制冷和关闭制冷温差
全密闭系统 整个系统为全密闭系统,低温不吸收空气中水份,系统在运行中不会因为高温使压力上升,低温自动补充导热介质。
循环泵 无锡冠亚磁力驱动泵/选配德国品牌磁力驱动泵
蒸发器 丹佛斯/高力钎焊式板式换热器
冷凝器 套管式水冷冷凝器/列管式水冷冷凝器
中间换热器  丹佛斯/高力板式换热器/沈氏套管换热器
制冷附件 油分离器、干燥过滤器、膨胀阀、制冷电磁阀、压控、视镜等均采用艾默生/丹佛斯等品牌
电气 交流接触器、中间继电器、断路器、热继电器等选择施耐德/ABB品牌
制冷剂 R404A /R23
载冷剂 无腐蚀性液体, 乙醇水溶液、导热油等
安全保护 高压保护、断水保护、有过电流保护、漏电保护、相续与断相保护、高温保护、传感器故障、低液位报警等多重安全保护
液位指示 采用玻璃液位指示
管路材质 膨胀罐、蓄冷罐、循环管路均采用 SUS304
外壳材质 槽钢+方管+冷轧板封板   喷塑7035
外形尺寸cm 100*150*185 205*145*205 205*145*205 205*145*175 245*145*205 300*160*225 350*160*205 400*160*225 500*200*225
电源
380V 50HZ
14kW 18kW 26kW 35kW 52kW 69kW 104kW 152kW 200kW
噪音 75分贝以内 80分贝以内 90分贝以内
重量kg 850 1000 1200 1450 2000 2400 3000 3600 4200
选配 选配外置触摸屏控制器,通信线距离10m
选配 选配防爆型触摸屏控制系统(ExdellBT4),通信线距离15m

 

 低温冷冻机

无锡冠亚专业生产单流体低温冷冻机,

制冷温度范围从-150度到-5度,

可满足不同制冷温度需求。

产品广泛应用于化工、制药、生化等行业低温反应领域,

制冷速度快,安全可靠。 

低温冷冻机低温冷冻机

半导体晶圆快速冷却装置冷冻机髙压故障对策

半导体晶圆快速冷却装置冷冻机髙压故障对策

  半导体晶圆快速冷却装置冷冻机,它是一类冷却循环水机器设备,半导体晶圆快速冷却装置冷冻机是一类能出示控温、恒流电源、恒流源的冷却循环水机器设备。

  (1)、制冷温度较高,冷疑实际效果欠佳。

  制冷机组规定的冷却循环水额定值工作状况在30~35℃,温度高,排热欠佳,必定造成 冷疑工作压力高,这类状况通常产生在高温时节。导致温度高的缘故可能是:冷却塔常见故障,如离心风机未开乃至翻转,旋转喷头不转,具体表现为冷却循环水温度很高,并且迅速上升;外部温度高,水道短,可循环系统的出水量少,这类状况冷却循环水温度通常保持在较高的水准,能够采用提升储蓄水池的方法给予处理。

  (2)、制冷出水量不够,达不上额定值出水量。

  具体表现是发电机组出入水压差缩小(与系统软件资金投入运作之初的压差对比),温度差变大。导致出水量不够的缘故是系统软件少水或存在汽体,解决方案是在管路高空安裝自动排气阀开展排气管;管道混合器阻塞或采用太细,透水性工作能力受到限制,应取用适合的过滤装置并按时清除滤网;离心水泵采用较小,与系统软件不配套设施。

  (3)、冷却器积垢或阻塞。

  凝结水通常用饮用水,在30℃以上时非常容易积垢,并且因为冷却塔是开启式的,立即曝露在空气中,尘土脏东西非常容易进到冷却系统,导致冷却器脏堵,传热总面积小,效率低,并且也危害出水量。

  (4)、冷媒添加太多。

  这类状况通常产生在检修以后,具体表现为吸排气管工作压力、均衡工作压力都较高,制冷压缩机运作电流量也较高。应在额定值工作状况下依据吸排气管工作压力和均衡工作压力及其运作电流量放气,直到一切正常。

  (5)、冷媒内沾有汽体、N2等不凝固汽体。

  这类状况通常产生在检修后,真空包装。只有排出去,再次真空包装,再次添加冷媒。

  (6)、电气设备常见故障造成的乱报。

因为髙压维护电磁阀返潮、接触不良现象或毁坏,模块电子板返潮或毁坏,通讯常见故障造成乱报。

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