销售咨询热线：
13912479193
新利18
新利18
首页 > 新利18 > 元器件高低温测试机 > 蚀刻机用冷水机 > 光刻机温度控制装置该如何选型

光刻机温度控制装置该如何选型

简要描述：元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中，IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度（-85℃至+ 250℃）下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。光刻机温度控制装置该如何选型

  • 产品型号：AES-4535
  • 厂商性质：生产厂家
  • 更新时间：2024-01-07
  • 访  问  量：2230
产品咨询 联系我们
详情介绍
品牌 LNEYA/无锡冠亚 冷却方式 风冷式
价格区间 5万-10万 产地类别 国产
仪器种类 一体式 应用领域 化工,电子,航天,制药,汽车

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

 型号 AES-4535
 AES-4535W		 AES-6035
 AES-6035W		 AES-8035
 AES-8035W		 AES-A1035W AES-A1235W
温度范围 -45℃～225℃ -60℃～225℃ -80℃～225℃ -100℃～225℃ -120℃～225℃
制冷量 -45℃ 2.5kW        
-60℃   2kW      
-80℃     1.5kW    
-100℃       1.2kW  
-120℃         1.2kW
温控精度 ±0.5℃ ±0.5℃ ±1℃ ±1℃ ±1℃
温度转换时间 -25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s		 -45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s		 -55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s		 -70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s		 -80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求 空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度：5℃～32℃  0～50%RH
空气处理能力 7m³/h ～ 25m³/h  压力5bar～7.6bar
系统压力显示 制冷系统压力采用指针式压力表实现（高压、低压）
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器 西门子PLC，模糊PID控制算法
温度控制 控制出风口温度
可编程 可编制10条程序，每条程序可编制10段步骤
通信协议 以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈 设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度（水冷设备有）
温度反馈 T型温度传感器
压缩机 法国泰康/艾默生
蒸发器 套管式换热器
加热器 法兰式桶状加热器
制冷附件 丹佛斯/艾默生配件（干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀）
操作面板 无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂 冠亚混合制冷剂
外接保温软管 方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸（风）cm 54*69*132 54*69*132 75*73*133 80*120*185 100*150*185
外型尺寸（水）cm 54*69*132 54*69*132 75*73*133 70*100*175 80*120*185
风冷型 采用铜管铝翅片冷凝方式，冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W 带W型号为水冷型
水冷冷凝器 板式换热器（务必确保冷却水清洁）
冷却水量 at 25℃ 0.6m³/h
G3/8		 1.2m³/h
G3/4		 1.6m³/h
G1		 2.6m³/h
G1		 3m³/h
G1
电源 50HZ max 3.7kW 220V 5kW 220V 5kW 220V 6.8kW 220V 7.5kW 220V
电源 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质 冷轧板喷塑 （标准颜色7035）
温度扩展 高温到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻机温度控制装置该如何选型

光刻机温度控制装置该如何选型

　　如何选择合适的工业冷水机组，在机组的设计上又应该注意哪些方面呢?

　　1. 使用光刻机温度控制装置还是水冷式冷水机

　　工业冷水机组的冷凝方式分为风冷式和水冷式，对应的设备也常被称为光刻机温度控制装置组和水冷式工业冷水机组，光刻机温度控制装置组的选型先要考虑是否适合采用风冷的冷凝方式

　　2. 确定制冷量需求

　　需要计算待控温设备实际应用所需要的制冷量是多少，通常可以根据客户所提供的制冷量或压缩机功率要求来直接确定，也可以根据实际工艺情况和经验来进行估算，需要注意的是通常所说光刻机温度控制装置组的制冷量指的是额定制冷量，还需要结合实际环境温度等因素来计算。

　　3. 蒸发器的选择

　　蒸发器类型：盘管式蒸发器 / 壳管式蒸发器 / 板式换热器

　　蒸发器材质: 被冷却液体（载冷剂）是否有耐酸耐碱等防腐要求，需要采用不锈钢、钛管等特殊材料

　　4. 循环水泵的选择

　　应结合应用设备的管道、安装距离、控温精度等因素来确定光刻机温度控制装置组中冷冻水循环泵的流量及扬程。

　　光刻机温度控制装置的选型还有其他许多需要注意的方面，如供电电压、冷媒是否有要求等等，在此不再一一赘述。

留言框

  • 产品：

  • 您的单位：

  • 您的姓名：

  • 联系电话：

  • 常用邮箱：

  • 省份：

  • 详细地址：

  • 补充说明：

  • 验证码：

    请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

上一条： AES-4535光刻机冷却机组保养维护须知
下一条： LN-6W镀膜机配套深冷设备冷冻机运行小妙招
Baidu
map