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光刻机冷却机组保养维护须知

简要描述:元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中,IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度(-85℃至+ 250℃)下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。光刻机冷却机组保养维护须知

  • 产品型号:AES-4535
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-07
  • 访  问  量:2634
详情介绍
品牌 LNEYA/无锡冠亚 冷却方式 风冷式
价格区间 5万-10万 产地类别 国产
仪器种类 一体式 应用领域 化工,电子,航天,制药,汽车

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

 型号 AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035W AES-A1235W
温度范围 -45℃~225℃ -60℃~225℃ -80℃~225℃ -100℃~225℃ -120℃~225℃
制冷量 -45℃ 2.5kW        
-60℃   2kW      
-80℃     1.5kW    
-100℃       1.2kW  
-120℃         1.2kW
温控精度 ±0.5℃ ±0.5℃ ±1℃ ±1℃ ±1℃
温度转换时间 -25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s
-45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s
-55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s
-70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s
-80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求 空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度:5℃~32℃  0~50%RH
空气处理能力 7m³/h ~ 25m³/h  压力5bar~7.6bar
系统压力显示 制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器 西门子PLC,模糊PID控制算法
温度控制 控制出风口温度
可编程 可编制10条程序,每条程序可编制10段步骤
通信协议 以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈 设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
温度反馈 T型温度传感器
压缩机 法国泰康/艾默生
蒸发器 套管式换热器
加热器 法兰式桶状加热器
制冷附件 丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀)
操作面板 无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护 具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂 冠亚混合制冷剂
外接保温软管 方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(风)cm 54*69*132 54*69*132 75*73*133 80*120*185 100*150*185
外型尺寸(水)cm 54*69*132 54*69*132 75*73*133 70*100*175 80*120*185
风冷型 采用铜管铝翅片冷凝方式,冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W 带W型号为水冷型
水冷冷凝器 板式换热器(务必确保冷却水清洁)
冷却水量 at 25℃ 0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
电源 50HZ max 3.7kW 220V 5kW 220V 5kW 220V 6.8kW 220V 7.5kW 220V
电源 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质 冷轧板喷塑 (标准颜色7035)
温度扩展 高温到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻机冷却机组保养维护须知

光刻机冷却机组保养维护须知

  如今光刻机冷却机组的使用越来越广泛,在使用过程中,如何对光刻机冷却机组进行保养和维护,关系着设备的使用寿命以及是否能够提高生产力的关键所在。

  对于企业来说,设备保养负责人应该制定每月的定期检查和保养计划。其内容如下:检查设备各个线路连接是否正常,以及电源线是否老化,检查电源是否缺相。并且要做好检查结果,对于有问题的应及时上报,并且计划完善对光刻机冷却机组线路的检查处理工作。另外在电气方面,还应该观察和记录设备运转时的电流。

  除了定期观察和记录运转电流之外,还应该对系统的压力和温度控制进行观察和记录。做好数据记录和统计工作,能够通过数据对比有效的发现问题,从而解决问题。

另外在对光刻机冷却机组的电气检查之外,还应该检查油位,冷媒系统,循环水水质等。其中较为常见的故障往往出现在循环水的问题,当循环水的水质多时,往往会造成堵塞,此时除了要清理系统内水质杂志之外,还应该更换循环水。检查冷媒系统时,应该着重检测冷媒系统的量是否充足。

  企业对于操作光刻机冷却机组的人员应该进行培训工作,应该让员工在通读光刻机冷却机组说明书的前提下让其上岗。并且在学习中,应着重对其进行光刻机冷却机组的保养和维护工作的培训和讲解。

  如有必要,可以向厂商申请专门的售后服务人员,来对员工进行培训教育。做好对光刻机冷却机组做保养和维护其实基本的是要培养员工的保养和维护的意识,意识有了,然后就是增加员工的执行力。做保养维护工作,重要的是持之以恒,将设备的故障率降低,就等于创造了效益和价值。

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