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| 品牌 | LNEYA/无锡冠亚 | 冷却方式 | 风冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5万-10万 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子,航天,制药,汽车 |
| 型号 | AES-4535 AES-4535W |
AES-6035 AES-6035W |
AES-8035 AES-8035W |
AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 温度范围 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 温控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 温度转换时间 | -25℃ to 150℃ 约10S 150℃to -25℃ 约20s |
-45℃ to 150℃ 约10S 150℃to -45℃ 约20s |
-55℃ to 150℃ 约10S 150℃to -55℃ 约15s |
-70℃ to 150℃ 约10S 150℃to -70℃ 约20s |
-80℃ to 150℃ 约11S 150℃to -80℃ 约20s |
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| 空气要求 | 空气滤清器<5um 空气含油量:<0.1ppm 空气温湿度：5℃～32℃ 0～50%RH |
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| 空气处理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 压力5bar～7.6bar | |||||
| 系统压力显示 | 制冷系统压力采用指针式压力表实现（高压、低压） 循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上 |
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| 控制器 | 西门子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 温度控制 | 控制出风口温度 | |||||
| 可编程 | 可编制10条程序，每条程序可编制10段步骤 | |||||
| 通信协议 | 以太网接口TCP/IP协议 | |||||
| 设备内部温度反馈 | 设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度（水冷设备有） | |||||
| 温度反馈 | T型温度传感器 | |||||
| 压缩机 | 法国泰康/艾默生 | |||||
| 蒸发器 | 套管式换热器 | |||||
| 加热器 | 法兰式桶状加热器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀） | |||||
| 操作面板 | 无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示EXCEL 数据导出 | |||||
| 安全防护 | 具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。 | |||||
| 制冷剂 | 冠亚混合制冷剂 | |||||
| 外接保温软管 | 方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（风）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 风冷型 | 采用铜管铝翅片冷凝方式，冷凝风机采用德国EBM轴流风机 | |||||
| 水冷型 W | 带W型号为水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式换热器（务必确保冷却水清洁） | |||||
| 冷却水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 |
1.2m³/h G3/4 |
1.6m³/h G1 |
2.6m³/h G1 |
3m³/h G1 |
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| 电源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 电源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑 （标准颜色7035） | |||||
| 温度扩展 | 高温到 +300℃ | |||||
半导体晶圆快速冷却装置开机运转注意事项
半导体晶圆快速冷却装置开机运转注意事项
操作人员在使用半导体晶圆快速冷却装置时，应当在开机前做好一些准备工作，这样可以避免由于非正常条件下启动引起的半导体晶圆快速冷却装置故障报警。
操作半导体晶圆快速冷却装置开机时应当注意以下几点：
1、一般压缩机等部件的电压范围是不允许超过额定电压的范围，如果机组在运行时出现电压不稳定或是缺相等故障，严重的会造成压缩机、水泵等电机部件烧毁。所以检查半导体晶圆快速冷却装置的供电电压值是否与设备标示的电压、频率一致是非常重要的，另外还需要检查半导体晶圆快速冷却装置电控部分如接触器、传感器等部件的接线是否牢固。
2、检查完电控系统、水循环系统，还需要检查制冷系统，这里一般是查看半导体晶圆快速冷却装置上的高压压力表和低压压力表，通过上面显示的压力值我们可以判定半导体晶圆快速冷却装置的制冷剂及系统是否正常，如果出现压力值为零或是高低压超出正常范围，那就需要排查故障后再启动半导体晶圆快速冷却装置。
3、我们检查完半导体晶圆快速冷却装置的电路以后，还要检查水路系统（可能包含冷却水系统、冷冻水系统以及供水水源等）是否运转正常，如水循环管路上的阀门是否已经打开等等。
4、确保半导体晶圆快速冷却装置的长期稳定运行需要操作人员更多地了解半导体晶圆快速冷却装置的相关知识，如部件构成及运行原理、规范操作流程和保养知识等等，当然如果能有专人来负责操作和维护那样就更好了。
设备操作人员应当仔细阅读半导体晶圆快速冷却装置的使用说明以及半导体晶圆快速冷却装置厂家所提供的技术培训内容，按步骤操作及维护保养半导体晶圆快速冷却装置，这样才能确保半导体晶圆快速冷却装置稳定地运行。
