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| 品牌 | LNEYA/无锡冠亚 | 冷却方式 | 风冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5万-10万 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子,航天,制药,汽车 |
| 型号 | AES-4535 AES-4535W |
AES-6035 AES-6035W |
AES-8035 AES-8035W |
AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 温度范围 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 温控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 温度转换时间 | -25℃ to 150℃ 约10S 150℃to -25℃ 约20s |
-45℃ to 150℃ 约10S 150℃to -45℃ 约20s |
-55℃ to 150℃ 约10S 150℃to -55℃ 约15s |
-70℃ to 150℃ 约10S 150℃to -70℃ 约20s |
-80℃ to 150℃ 约11S 150℃to -80℃ 约20s |
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| 空气要求 | 空气滤清器<5um 空气含油量:<0.1ppm 空气温湿度：5℃～32℃ 0～50%RH |
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| 空气处理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 压力5bar～7.6bar | |||||
| 系统压力显示 | 制冷系统压力采用指针式压力表实现（高压、低压） 循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上 |
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| 控制器 | 西门子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 温度控制 | 控制出风口温度 | |||||
| 可编程 | 可编制10条程序，每条程序可编制10段步骤 | |||||
| 通信协议 | 以太网接口TCP/IP协议 | |||||
| 设备内部温度反馈 | 设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度（水冷设备有） | |||||
| 温度反馈 | T型温度传感器 | |||||
| 压缩机 | 法国泰康/艾默生 | |||||
| 蒸发器 | 套管式换热器 | |||||
| 加热器 | 法兰式桶状加热器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀） | |||||
| 操作面板 | 无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示EXCEL 数据导出 | |||||
| 安全防护 | 具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。 | |||||
| 制冷剂 | 冠亚混合制冷剂 | |||||
| 外接保温软管 | 方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（风）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 风冷型 | 采用铜管铝翅片冷凝方式，冷凝风机采用德国EBM轴流风机 | |||||
| 水冷型 W | 带W型号为水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式换热器（务必确保冷却水清洁） | |||||
| 冷却水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 |
1.2m³/h G3/4 |
1.6m³/h G1 |
2.6m³/h G1 |
3m³/h G1 |
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| 电源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 电源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑 （标准颜色7035） | |||||
| 温度扩展 | 高温到 +300℃ | |||||
光刻机用冷水机组的安装要求有哪些
光刻机用冷水机组的安装要求有哪些
为确保光刻机用冷水机组的靠谱及正常运行，防止不适当的水配管路施工造成的冷水机故障，安装本机组时应注意下列事项：
光刻机用冷水机组的电源注意事项
1、光刻机用冷水机组电源采用三相四线、电源线接电源火线，接零线，（G）接地线。
2、光刻机用冷水机组用主电源线线电控箱上的穿孔连接在箱内接柱上，保证连接紧固。
3、机组配电要求：主电源电压：额定电压范围以内。
4、主电源电压波动超过规定范围时，不准起动冷水机、否则视作操作不当，由此引起的损坏不在本公司保养范围之内。
5、水系统之水流开关、水泵、冷却水塔电机等联锁电路必要时可正确连接在机组控制电路中。
6、光刻机用冷水机组设有电流过载保护、压缩机排气端之高低压保护，马达线圈过热保护、防冰保护，冷却水之水流连锁保护等多种措施，切勿擅自改动、如需改动请与厂家联络。
光刻机用冷水机组的安装注意事项
1、吊运安装光刻机用冷水机组时注意不要损坏机组，合理布局光刻机用冷水机组周围空间，以方便维修保养光刻机用冷水机组。
2、按照对配管系统设计及施工安装的要求，合理设计和安装冻水及冷却水系统，以充分发挥光刻机用冷水机组性能。
3、机组应水平放置，及安装在通风位置。
4、根据机组制冷能力选用匹配的冷却塔。
5、机组配管请参照本公司建议之配管方法安装施工。
6、水源及散热水塔周围环境恶劣时，冷冻水和冷却水回路须安装Y型过滤器及定时清理，封闭冷冻水系统较高处须安装自动排气阀、系统较低处安装排水接头，以系统排水用。
7、冷冻水管路系统通过试漏后，包保温层，避免冷量散失及管路滴水。
