光刻机用低温冷水机组故障原因与排除

品牌	LNEYA/无锡冠亚	冷却方式	风冷式
价格区间	5万-10万	产地类别	国产
仪器种类	一体式	应用领域	化工,电子,航天,制药,汽车

型号		AES-4535  AES-4535W	AES-6035  AES-6035W	AES-8035  AES-8035W	AES-A1035W	AES-A1235W
温度范围		-45℃～225℃	-60℃～225℃	-80℃～225℃	-100℃～225℃	-120℃～225℃
制冷量	-45℃	2.5kW
	-60℃		2kW
	-80℃			1.5kW
	-100℃				1.2kW
	-120℃					1.2kW
温控精度		±0.5℃	±0.5℃	±1℃	±1℃	±1℃
温度转换时间		-25℃ to 150℃ 约10S 150℃to  -25℃ 约20s	-45℃ to 150℃ 约10S 150℃to  -45℃ 约20s	-55℃ to 150℃ 约10S 150℃to  -55℃ 约15s	-70℃ to 150℃ 约10S 150℃to  -70℃ 约20s	-80℃ to 150℃ 约11S 150℃to  -80℃ 约20s
空气要求		空气滤清器<5um 空气含油量:<0.1ppm 空气温湿度：5℃～32℃  0～50%RH
空气处理能力		7m³/h ～ 25m³/h  压力5bar～7.6bar
系统压力显示		制冷系统压力采用指针式压力表实现（高压、低压） 循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器		西门子PLC，模糊PID控制算法
温度控制		控制出风口温度
可编程		可编制10条程序，每条程序可编制10段步骤
通信协议		以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈		设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度（水冷设备有）
温度反馈		T型温度传感器
压缩机		法国泰康/艾默生
蒸发器		套管式换热器
加热器		法兰式桶状加热器
制冷附件		丹佛斯/艾默生配件（干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀）
操作面板		无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护		具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂		冠亚混合制冷剂
外接保温软管		方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸（风）cm		54*69*132	54*69*132	75*73*133	80*120*185	100*150*185
外型尺寸（水）cm		54*69*132	54*69*132	75*73*133	70*100*175	80*120*185
风冷型		采用铜管铝翅片冷凝方式，冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W		带W型号为水冷型
水冷冷凝器		板式换热器（务必确保冷却水清洁）
冷却水量 at 25℃		0.6m³/h G3/8	1.2m³/h G3/4	1.6m³/h G1	2.6m³/h G1	3m³/h G1
电源 50HZ max		3.7kW 220V	5kW 220V	5kW 220V	6.8kW 220V	7.5kW 220V
电源		可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质		冷轧板喷塑 （标准颜色7035）
温度扩展		高温到 +300℃

 

 

光刻机用低温冷水机组故障原因与排除

光刻机用低温冷水机组故障原因与排除

　　光刻机用低温冷水机组操作者可对设备运行过程中的相关故障以及解决办法做一定的了解，以便更好的使用光刻机用低温冷水机组，那么其故障原因是怎么样的呢？

　　1、制冷剂泄漏：

　　系统中制冷剂泄漏后制冷量不足，吸、排气压力低，蒸发器不挂霜或挂角少量的浮霜，若调大膨胀阀孔，吸气压力仍无大变化，停机后系统内平衡压力一般低于相同环境温度所对应的饱和压力。

　　排除方法：制冷剂泄漏后不能急于向系统内充灌制冷剂，而应立即查找渗漏点，经修复后在填充制冷剂。

　　2、维修后充灌制冷剂过多：

　　维修后的制冷系统中充灌的制冷剂量超过系统的容量，制冷剂就会占去冷凝器一定的容积，减少散热面积，使其制冷效果下降，出现吸、排气压力普遍高于正常的压力值，蒸发器结霜不实，光刻机用低温冷水机组降温慢。

　　排除方法：按操作程序，须停机几分钟后在高压截止阀处放出多余的制冷剂，此时也能将系统中的残余空气一并放出。

　　3、制冷系统内有空气：

　　空气在制冷系统中会使制冷效率降低，突出的现象时吸、排气压力升高（但排气压力还未超出额定值），压缩机出口至冷凝器处温度明显增高，由于系统内有空气，排气压力、排气温度都升高。

　　排除方法：可以在停机后几分钟后，连续几次从高压截止阀放出空气，还可以根据实际情况适当充灌一些制冷剂。

　　4、蒸发器表面结霜过厚：

　　长期使用的冷库蒸发器要定时化霜，如不化霜，蒸发器管路上霜层越积越厚，当把整个管路包住成透明冰层时，将严重影响传热，致使光刻机用低温冷水机组温度降不到要求的范围内。

　　排除方法：停机化霜，切勿用铁器、木棒等敲击霜层，以防损坏蒸发器管路。

　　5、蒸发器管路中有冷冻油：

　　在制冷循环过程中，有些冷冻油残留在蒸发器管路内，经过较长时间的使用，蒸发器内残留油较多时，会严重影响其传热效果，出现制冷差的现象。

　　排除方法：清除蒸发器内的冷冻油。将蒸发器拆下来，进行吹洗后再烘干。

　　光刻机用低温冷水机组在发生液击故障之后，操作者或者使用人如不能及时解决，请联系厂家进行解决。