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光刻机用冷水机组油堵故障知识分享

简要描述：元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中，IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度（-85℃至+ 250℃）下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。光刻机用冷水机组油堵故障知识分享

  • 产品型号：AES-4535
  • 厂商性质：生产厂家
  • 更新时间：2024-01-07
  • 访  问  量：1967
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详情介绍
品牌 LNEYA/无锡冠亚 冷却方式 风冷式
价格区间 5万-10万 产地类别 国产
仪器种类 一体式 应用领域 化工,电子,航天,制药,汽车

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

 型号 AES-4535
 AES-4535W		 AES-6035
 AES-6035W		 AES-8035
 AES-8035W		 AES-A1035W AES-A1235W
温度范围 -45℃～225℃ -60℃～225℃ -80℃～225℃ -100℃～225℃ -120℃～225℃
制冷量 -45℃ 2.5kW        
-60℃   2kW      
-80℃     1.5kW    
-100℃       1.2kW  
-120℃         1.2kW
温控精度 ±0.5℃ ±0.5℃ ±1℃ ±1℃ ±1℃
温度转换时间 -25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s		 -45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s		 -55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s		 -70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s		 -80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求 空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度：5℃～32℃  0～50%RH
空气处理能力 7m³/h ～ 25m³/h  压力5bar～7.6bar
系统压力显示 制冷系统压力采用指针式压力表实现（高压、低压）
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器 西门子PLC，模糊PID控制算法
温度控制 控制出风口温度
可编程 可编制10条程序，每条程序可编制10段步骤
通信协议 以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈 设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度（水冷设备有）
温度反馈 T型温度传感器
压缩机 法国泰康/艾默生
蒸发器 套管式换热器
加热器 法兰式桶状加热器
制冷附件 丹佛斯/艾默生配件（干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀）
操作面板 无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂 冠亚混合制冷剂
外接保温软管 方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸（风）cm 54*69*132 54*69*132 75*73*133 80*120*185 100*150*185
外型尺寸（水）cm 54*69*132 54*69*132 75*73*133 70*100*175 80*120*185
风冷型 采用铜管铝翅片冷凝方式，冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W 带W型号为水冷型
水冷冷凝器 板式换热器（务必确保冷却水清洁）
冷却水量 at 25℃ 0.6m³/h
G3/8		 1.2m³/h
G3/4		 1.6m³/h
G1		 2.6m³/h
G1		 3m³/h
G1
电源 50HZ max 3.7kW 220V 5kW 220V 5kW 220V 6.8kW 220V 7.5kW 220V
电源 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质 冷轧板喷塑 （标准颜色7035）
温度扩展 高温到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻机用冷水机组油堵故障知识分享

光刻机用冷水机组油堵故障知识分享

　　光刻机用冷水机组产生油堵的主要原因：压缩机缸体磨损严重或活塞与气缸配合间隙过大所致。

　　随光刻机用冷水机组压缩机排汽油被排入冷凝器，进而随同制冷剂一起进入干燥过滤器，由于油的粘度较大，被过滤器内的干燥剂阻住，油过多时在过滤器处形成堵塞，使制冷剂不能正常循环，制冷设备不制冷。

　　造成光刻机用冷水机组其他管路堵塞的原因是：在焊接管路时被焊料堵塞；或在更换管子时所更换的管子本身已堵塞而未发现，以上堵塞都是人为因素造成，因此要求在焊接和更换管子时，应按要求进行操作和检查，就不会造成人为堵塞故障了。

　　光刻机用冷水机组油堵故障的排除：产生油堵故障，说明在光刻机用冷水机组内残存有过多的冷冻机油，以致影响制冷效果，甚至不能制冷，因此须将系统内的冷冻机油清除干净。

　　光刻机用冷水机组过滤器油堵时应更换新过滤器，同时用高压氮气吹出冷凝器内积存的部分冷冻机油，在通入氮气时可用电吹风机加热冷凝器。

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