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| 品牌 | LNEYA/无锡冠亚 | 冷却方式 | 风冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5万-10万 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子,航天,制药,汽车 |
| 型号 | AES-4535 AES-4535W |
AES-6035 AES-6035W |
AES-8035 AES-8035W |
AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 温度范围 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 温控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 温度转换时间 | -25℃ to 150℃ 约10S 150℃to -25℃ 约20s |
-45℃ to 150℃ 约10S 150℃to -45℃ 约20s |
-55℃ to 150℃ 约10S 150℃to -55℃ 约15s |
-70℃ to 150℃ 约10S 150℃to -70℃ 约20s |
-80℃ to 150℃ 约11S 150℃to -80℃ 约20s |
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| 空气要求 | 空气滤清器<5um 空气含油量:<0.1ppm 空气温湿度：5℃～32℃ 0～50%RH |
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| 空气处理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 压力5bar～7.6bar | |||||
| 系统压力显示 | 制冷系统压力采用指针式压力表实现（高压、低压） 循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上 |
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| 控制器 | 西门子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 温度控制 | 控制出风口温度 | |||||
| 可编程 | 可编制10条程序，每条程序可编制10段步骤 | |||||
| 通信协议 | 以太网接口TCP/IP协议 | |||||
| 设备内部温度反馈 | 设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度（水冷设备有） | |||||
| 温度反馈 | T型温度传感器 | |||||
| 压缩机 | 法国泰康/艾默生 | |||||
| 蒸发器 | 套管式换热器 | |||||
| 加热器 | 法兰式桶状加热器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀） | |||||
| 操作面板 | 无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示EXCEL 数据导出 | |||||
| 安全防护 | 具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。 | |||||
| 制冷剂 | 冠亚混合制冷剂 | |||||
| 外接保温软管 | 方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（风）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 风冷型 | 采用铜管铝翅片冷凝方式，冷凝风机采用德国EBM轴流风机 | |||||
| 水冷型 W | 带W型号为水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式换热器（务必确保冷却水清洁） | |||||
| 冷却水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 |
1.2m³/h G3/4 |
1.6m³/h G1 |
2.6m³/h G1 |
3m³/h G1 |
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| 电源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 电源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑 （标准颜色7035） | |||||
| 温度扩展 | 高温到 +300℃ | |||||
光刻机制冷机组靠谱操作规范及注意事项
光刻机制冷机组靠谱操作规范及注意事项
光刻机制冷机组这是可以提供恒定温度，电流和压力的冷却水设备使用时，应注意以下事项。
1.在安装过程中，请检查机器是否损坏，并选择合适的位置进行安装和以后的维护。
2.设备的安装地点须是地板，安装垫或地基，且水平度应在范围之内，并且能够承受设备的工作重量。
3.单元应放置在室温下，单元周围和上方应有足够的空间进行日常维护。
4.在单元的一端，应保留用于清洁冷凝器管束的抽气空间，也可以使用门的开口或其他位置合适的孔。
5.当设备以较大功率运行时，选择具有适当管径的水管，冷却系统和冷水系统，并正确连接它们。
6.对于普通应用，通过蒸发器和冷凝器的水流速应在范围之间。
7.在负载下，水流均应保持稳定。
8.所有冷冻水和冷却水管应按照常规方法进行设计和安装。冷冻水泵应位于设备的进水管上，以确保设备中的正压和流量。配管时，应设置减震管，以确保适当的弹性，并在水泵停止时防止蒸发器的水排出。
9.应独立于组光刻机制冷机组牢固地支撑管道，以避免对组光刻机制冷机组的组件施加压力。吊架的位置应便于管道对齐。
10.为了减少噪音和振动，较好在管道上安装振动隔离器。
11.为了经济有效地使用第光刻机制冷机组组，建议请水处理专家分析蒸发器和冷凝器的水质。水质差会导致结垢，影响传热，产生腐蚀沉淀，滋生有机物，影响装置的性能并增加运行和维护成本。
12.一般来说，正确的水处理和定期清洁管束可以保持其良好性能。如果不能通过适当的方法改善现有的水质状况，则须使管束具有较大的结垢系数或使用特殊的结构材料。
在操作光刻机制冷机组时，请注意上述事项，这一定会使您受益。
