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蚀刻机冷却装置的保养及操作需要注意的问题

简要描述:元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中,IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度(-85℃至+ 250℃)下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。蚀刻机冷却装置的保养及操作需要注意的问题

  • 产品型号:AES-4535
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-07
  • 访  问  量:1778
详情介绍
品牌 LNEYA/无锡冠亚 冷却方式 风冷式
价格区间 5万-10万 产地类别 国产
仪器种类 一体式 应用领域 化工,电子,航天,制药,汽车

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

 型号 AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035W AES-A1235W
温度范围 -45℃~225℃ -60℃~225℃ -80℃~225℃ -100℃~225℃ -120℃~225℃
制冷量 -45℃ 2.5kW        
-60℃   2kW      
-80℃     1.5kW    
-100℃       1.2kW  
-120℃         1.2kW
温控精度 ±0.5℃ ±0.5℃ ±1℃ ±1℃ ±1℃
温度转换时间 -25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s
-45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s
-55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s
-70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s
-80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求 空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度:5℃~32℃  0~50%RH
空气处理能力 7m³/h ~ 25m³/h  压力5bar~7.6bar
系统压力显示 制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器 西门子PLC,模糊PID控制算法
温度控制 控制出风口温度
可编程 可编制10条程序,每条程序可编制10段步骤
通信协议 以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈 设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
温度反馈 T型温度传感器
压缩机 法国泰康/艾默生
蒸发器 套管式换热器
加热器 法兰式桶状加热器
制冷附件 丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀)
操作面板 无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护 具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂 冠亚混合制冷剂
外接保温软管 方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(风)cm 54*69*132 54*69*132 75*73*133 80*120*185 100*150*185
外型尺寸(水)cm 54*69*132 54*69*132 75*73*133 70*100*175 80*120*185
风冷型 采用铜管铝翅片冷凝方式,冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W 带W型号为水冷型
水冷冷凝器 板式换热器(务必确保冷却水清洁)
冷却水量 at 25℃ 0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
电源 50HZ max 3.7kW 220V 5kW 220V 5kW 220V 6.8kW 220V 7.5kW 220V
电源 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质 冷轧板喷塑 (标准颜色7035)
温度扩展 高温到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

蚀刻机冷却装置的保养及操作需要注意的问题

蚀刻机冷却装置的保养及操作需要注意的问题

  当蚀刻机冷却装置在启动之前不需要打开装置上的冷凝器的进气阀时,发生水窜。一部分冷却回水从非启动冷凝器流出,减少了运行单元冷凝器内的冷却水流量,使冷凝压力上升,主机运行电流增加,冷却单位的能力下降。蚀刻机冷却装置严重的是,该装置将停止运行,这会浪费电力,降低制冷效果并且容易损坏装置。因此,在启动之前不必关闭装置的冷凝器的进水阀以防止水窜。

  由于不需要打开的单元上的冷凝器的入口阀未关闭,因此主发动机的冷凝压力和冷却水的出口温度增加。这会对操作员造成误判,误认为冷却水不足,扩大了冷凝器和冷却水泵的进出阀门,有些还增加了冷却塔风扇,导致水泵和冷却塔风扇的功耗增加。

  在启动之前应注意蚀刻机冷却装置。

  有必要检查设备的电源是否正确连接。首先,将系统中的水煮沸,然后将冷却器煮沸。装置周围是否有异常?蚀刻机冷却装置的水箱和冷凝器注满水。不要在没有水的情况下运行检查制冷(但)水阀是否已打开,水箱是否处于待机状态,冷却泵是否试图*运行。

  蚀刻机冷却装置的维护;

保持清洁,保持空气流通,低温,避免杂物进入,降低散热效果。工业用蚀刻机冷却装置请保持冷却盘管表面清洁,保证空气流通,低温,定期清洗盘管结垢,确保良好的传热效果。如果蚀刻机冷却装置已使用半年以上,或制冷量减少,或高/低压开关经常发生故障,请安排工作人员清洁冷凝器。

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